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MATIÈRE (physique) Plasmas

Plasmas froids et applications industrielles

La dénomination « plasmas froids » recouvre en fait les gaz partiellement ionisés, dont la température reste modérée, atteignant 104 à 105 K, bien en deçà de la température des plasmas chauds. Dans ces plasmas, les collisions élastiques ou inélastiques des électrons et des ions avec les particules neutres (atomes et molécules) sont fréquentes et dominent certains aspects du plasma. En général, le plasma est créé par décharge dans un gaz entre la cathode, chargée négativement, et l'anode, chargée positivement. Un gaz partiellement ionisé peut également être créé par interaction d'un faisceau laser d'intensité modérée avec une cible solide.

Depuis les lampes à arc au carbone de la fin du xixe siècle et les lampes à décharges luminescentes, les applications industrielles des plasmas froids se sont considérablement diversifiées, et cette diversité est due à la variété des configurations géométriques, des paramètres physiques (densité, température, fréquence et intensité des potentiels électriques appliqués) et de la nature du gaz ambiant (inerte ou réactif) ou des parois solides constituant les électrodes ou se trouvant en contact avec le plasma.

On réserve le nom de plasmas thermiques aux plasmas relativement denses, en équilibre thermodynamique (au moins localement), et produits par des décharges du type arcs électriques ou de type radiofréquence, ou par des torches à couplage inductif. Ces plasmas sont essentiellement présents ou utilisés dans les appareils de coupure électrique (interrupteur à plasma en électronique de puissance), dans le traitement métallurgique, le traitement thermique, la soudure, ou le traitement des déchets ou des polluants.

Les plasmas froids à basse pression sont, au contraire des plasmas thermiques, hors équilibre thermodynamique. Les températures des diverses populations sont différentes les unes des autres (en particulier Te > Ti à cause du faible taux d’échange d’énergie des électrons), et on peut également distinguer les températures vibrationnelles et rotationnelles associées aux degrés de vibration et de rotation des molécules du gaz. En outre, les distributions des vitesses des particules chargées s’écartent sensiblement des maxwelliennes. Les applications industrielles de ce type de plasmas sont ici encore multiples, essentiellement dans le traitement des matériaux et des surfaces dont on cherche à modifier la dureté, la résistance à la corrosion, la tribologie (diminution des coefficients de frottement), la mouillabilité (pour les textiles), ou les propriétés d'adhésion ou de biocompatibilité (prothèses médicales). On peut aussi effectuer des dépôts sur des substrats (dépôt de couches en optique ou sur des supports de mémoire magnétiques ou magnéto-optiques, dépôt de carbone-diamant, etc.), procéder à des gravures, à des implantations ioniques en profondeur, à des pulvérisations de matériaux, ou à des polymérisations en volume ou en surface. Les applications en micro-électronique ou en macro-électronique (écrans plats, par exemple) se développent rapidement.

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Écrit par

  • : docteur d'État, directeur de recherche au C.N.R.S.

Classification

Pour citer cet article

Patrick MORA. MATIÈRE (physique) - Plasmas [en ligne]. In Encyclopædia Universalis. Disponible sur : (consulté le )

Médias

États de la matière - crédits : Encyclopædia Universalis France

États de la matière

Irving Langmuir et E. D. MacArthur - crédits : Encyclopaedia Britannica, Inc

Irving Langmuir et E. D. MacArthur

Sinclair Lewis, Frank Kellogg, Albert Einstein et Irving Langmuir - crédits : Hulton-Deutsch/ Corbis Historical/ Getty Images

Sinclair Lewis, Frank Kellogg, Albert Einstein et Irving Langmuir

Autres références

  • ÉTAT DE LA MATIÈRE, notion d'

    • Écrit par Bernard PIRE
    • 1 521 mots

    L'expérience quotidienne permet à chacun d'appréhender la notion d'état de la matière (parfois appelé phase) et celle de transition de phase qui lui est étroitement liée. L'exemple typique est celui des trois états si différents que prend l'eau lorsque sa température varie : à partir de 0 ...

  • MATIÈRE, notion de

    • Écrit par Jean-Marc LÉVY-LEBLOND
    • 2 022 mots

    Le mot « matière » cache sous sa généralité abstraite une origine concrète fort éclairante. En latin archaïque, materia appartient à la langue rustique et désigne la substance dont est fait le tronc de l'arbre, en tant qu'elle est productrice (de branches, de feuilles). L'élargissement successif...

  • PARTICULES ÉLÉMENTAIRES

    • Écrit par Maurice JACOB, Bernard PIRE
    • 8 172 mots
    • 12 médias

    Les physiciens poursuivent l'étude de la structure de la matière dans le but de trouver plus d'unité et de simplicité dans un monde qui nous frappe par sa diversité et son apparente complexité. N'est-il pas remarquable de pouvoir ramener la variété quasi infinie des objets qui nous entourent...

  • ANTIMATIÈRE

    • Écrit par Bernard PIRE, Jean-Marc RICHARD
    • 6 931 mots
    • 4 médias
    ...associé est bâti avec les antiquarks correspondants. Les mésons résultent de la liaison d'un quark et d'un antiquark. Dans cette description moderne, la matière est constituée par trois « générations » de quarks et de leptons, le nombre trois a été établi par les expériences du C.E.R.N. (laboratoire européen...
  • ATOME

    • Écrit par José LEITE LOPES
    • 9 140 mots
    • 13 médias

    L'atome est le terme ultime de la division de la matière dans lequel les éléments chimiques conservent leur individualité. C'est la plus petite particule d'un élément qui existe à l'état libre ou combiné. On connaît 90 éléments naturels auxquels s'ajoutent le ...

  • BOHR ATOME DE

    • Écrit par Bernard PIRE
    • 369 mots
    • 1 média

    Deux ans après avoir soutenu sa thèse sur la théorie électronique des métaux, le physicien danois Niels Bohr (1885-1962) écrit en 1913 trois articles fondamentaux qui révolutionnent la compréhension de la structure de la matière. Le premier, paru le 5 avril dans le Philosophical Magazine...

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Voir aussi