MICROSYSTÈMES, technologie

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Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS

Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS
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Microsystèmes : procédé d'usinage anisotrope du silicium

Microsystèmes : procédé d'usinage anisotrope du silicium
Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

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Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée

Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée
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Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »

Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »
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Objets « intelligents » de petite dimension – leur taille varie du centimètre à la dizaine de micromètres (1 μm = 10—6 m) – les microsystèmes présentent une fonction bien identifiée et sont élaborés par des technologies de fabrication collectives, dites en « parallèle » (batch-processing), déjà bien maîtrisées en microélectronique. Ils sont issus des besoins de miniaturisation de systèmes volumineux, coûteux à fabriquer et à utiliser, pour de nouveaux usages nécessitant une meilleure conformité fonctionnelle et une meilleure portabilité (systèmes dits nomades). Le concept de base est fondé sur une approche de la miniaturisation dite « du haut vers le bas » (top down). L'évolution principale des fonctions, au-delà de l'électronique, est l'introduction de la micromécanique utilisant des parties mobiles (ressorts, poutres, rotors, etc.), de l'optique et de l'intelligence (logiciels enfouis) dans les microsystèmes en appliquant les technologies de la microélectronique. Ces nouveaux outils assurent généralement un lien entre les nanotechnologies (technologie capable d'élaborer des objets structurés à l'échelle du nanomètre, soit 10—9 mètre ; cf. nanotechnologies) et le monde macroscopique dans lequel vit l'homme. Les nanotechnologies conduisent à créer des fonctions infiniment locales qui sont accessibles à l'usager par l'intermédiaire d'une chaîne continue de nano-micro-méso-macro-systèmes assurant un ensemble cohérent et complémentaire de fonctions utiles.

De la microélectronique aux microsystèmes

La microélectronique s'est développée à partir des années 1960 sur le concept du transistor, en particulier M.O.S. (metal-oxide-semiconductor), et selon la technologie de fabrication dite « planar » permettant un réalignement automatique des différentes couches technologiques mises en œuvre lors de la réalisation du circuit intégré (fig. 1). Elle a évolué ensuite vers l'ultra-miniaturisation (appelée aujourd'hui nanoélectronique) de chaque transistor afin d'augmenter la densité des fonctions et d'a [...]


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  • : professeur, directeur scientifique des sciences et technologies de l'information et de la communication au ministère de la Recherche

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MICROROBOTS

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D'une manière générale, on désigne par microrobots des systèmes qui, du fait des contraintes dimensionnelles qu'ils subissent, ne peuvent pas être conçus à l'aide des technologies classiques utilisées dans les robots macroscopiques, mais avec les microtechnologies voire les nanotechnologies. Les […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/microrobots/#i_85617

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Pour citer l’article

Daniel HAUDEN, « MICROSYSTÈMES, technologie », Encyclopædia Universalis [en ligne], consulté le 19 septembre 2017. URL : http://www.universalis.fr/encyclopedie/microsystemes-technologie/