Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée

D.R./ FEMTO-ST, Besançon

Exemple d'une structure micro-usinée, obtenue en attaquant la tranche de silicium de quelque 300 micromètres d'épaisseur (jusqu'à la faire disparaître par endroits) par une solution liquide de potasse, qui représente la partie sensible d'un accéléromètre à trois axes. Les trois masselottes en silicium visibles sur la photographie ont été élaborées en même temps, chacune étant suspendue par quatre bras ultra-minces de silicium. Étant sensibles à une accélération, elles se déplacent, soit dans le plan de la plaque (de haut en bas de la plaque pour la masselotte du haut de l'image, de droite à gauche pour la masselotte du milieu), soit dans un plan perpendiculaire (masselotte du bas).