Lithographie optique
Étapes du procédé de lithographie optique. On irradie par de la lumière une résine photosensible aux endroits désirés en faisant l'image d'un support transparent, sauf aux endroits que l'on désire masquer à la lumière. On utilise ensuite des produits chimiques différents qui attaqueront successivement la résine non irradiée, le métal non protégé par la résine irradiée, enfin la résine irradiée. On obtient finalement un motif métallique qui est la réplique parfaite du motif de départ.
Lithographie optique - vue 1
Lithographie optique - vue 2
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Lithographie optique - vue 4
Lithographie optique - vue 5
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