STATOR
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MICROSYSTÈMES, technologie
- Écrit par Daniel HAUDEN
- 3 756 mots
- 11 médias
...microactionneurs. L'exemple historique est celui du micromoteur « tout silicium » d'un diamètre de 150 μm fabriqué en 1989 à l'université de Berkeley. Les électrodes extérieures fixes du stator et les électrodes en étoile mobiles du rotor sont fabriquées au cours d'une même étape du procédé technologique,...
Médias
Microsystèmes : micro-moteur à frottement
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium
D.R./ BSAC, Berkeley, Californie, USA
Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif métallique
D.R./ FEMTO-ST, Besançon
