Microsystèmes : micro-moteur à frottement

D.R./ FEMTO-ST, Besançon

Dans ce micro-moteur entièrement élaboré en silicium, le rotor (de 0,5 micromètre d'épaisseur et de 500 micromètres de diamètre) est entraîné par le frottement des 18 micro-doigts « grattant » le stator et permettant la rotation autour de l'axe central. Le dispositif de commande électrique est réalisé à partir d'électrodes rectangulaires métalliques déposées autour du micro-moteur.