Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif métallique

D.R./ FEMTO-ST, Besançon

Micro-moteur « couronne » à commande électrostatique réalisé en technique LIGA qui utilise des résines épaisses et plusieurs étapes de dépôts électrolytiques de nickel. Le stator (cercle intérieur), fixe, est équipé de six électrodes (triangles au sein du cercle) qui, alimentées successivement, permettent le mouvement du rotor (cercle extérieur) de 55 micromètres d'épaisseur et 1 millimètre de diamètre. Sur ce dernier, des trous (de 15 micromètres de côté), régulièrement espacés, permettent le passage de l'air afin d'éviter les frottements.