MICROMOTEURS
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MICROSYSTÈMES, technologie
- Écrit par Daniel HAUDEN
- 3 756 mots
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...ouvert la voie à de très nombreuses applications électromécaniques des microsystèmes tant dans le domaine des capteurs que dans celui des microactionneurs. L'exemple historique est celui du micromoteur « tout silicium » d'un diamètre de 150 μm fabriqué en 1989 à l'université de Berkeley. Les électrodes...
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