Les appareils d'optique électronique – microscope électronique à balayage (M.E.B.), microanalyseur à sonde électronique (M.A.S.E.) et microscope électronique en transmission – occupent une position privilégiée dans le domaine de la caractérisation microstructurale des matériaux en ce sens que chacun d'eux permet d'obtenir sur un même échantillon non seulement des renseignements relatifs à la morphologie et à la répartition des constituants, mais aussi des informations cristallographiques et compositionnelles. Le principe de fonctionnement de tous ces appareils repose sur le fait que, sous le faisceau d'électrons incidents, l'échantillon émet divers signaux électroniques et électromagnétiques suite à l'interaction électrons-matière. L'intensité de ces émissions varie d'un point à l'autre de l'échantillon et apporte une information localisée sur la microstructure, la structure cristallographique et la composition chimique. Historiquement, la distinction entre ces trois appareils et leurs domaines respectifs d'emploi était assez nette :
– le microscope électronique en transmission, dont le premier modèle date des années trente, a été mis au point pour obtenir des images à haute résolution et des diagrammes de diffraction électronique à partir d'échantillons transparents aux électrons incidents ayant une énergie d'une ou quelques centaines de keV (énergie pouvant aller jusqu'à quelques MeV sur certains appareils particuliers à très haute tension) ;
– au début des années 1950, le microanalyseur à sonde électronique a été conçu dans le but d'effectuer des analyses chimiques locales, à l'aide de la spectrométrie des rayons X caractéristiques engendrés dans un petit volume d'un échantillon massif bombardé par un faisceau très fin d'électrons, dont l'énergie peut varier de 1 à 40 keV environ ;
– enfin, au cours des années soixante, la microscopie électronique à balayage a pu se développer grâce à la réalisation de détecteurs efficaces, qui ont permis d'utiliser les électrons secondair […]
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