PHOTOLITHOGRAPHIE

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• CIRCUITS INTÉGRÉS

  • Écrit par Frédéric PÉTROT, Franck WAJSBÜRT
  • 8 993 mots
  • 20 médias
  Pour l'élaboration de tels circuits, les procédés de fabrication industriels adoptent des techniques de photolithographie. Le circuit à réaliser est fourni sous forme de masques (sortes de pochoirs) que l'on pose sur un matériau photosensible. Il faut concevoir autant de masques qu'il y a de couches...

• MICROÉLECTRONIQUE

  • Écrit par Claude WEISBUCH
  • 13 698 mots
  • 23 médias
  ...opérations, sur un ensemble de plaquettes (jusqu'à 25). Le report des motifs géométriques représentant les différents éléments des circuits intégrés se fait par une méthode lithographique où l'image désirée, préalablement dessinée sur un masque par des parties opaques et transparentes, est projetée par illumination...

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