Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium

Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium

Crédits : D.R./ BSAC, Berkeley, Californie, USA

Premier micro-moteur rotatif à excitation électrostatique latérale entièrement en silicium, élaboré en 1989 à l'université de Berkeley. Un champ électrique de l'ordre de 100 volts fait tourner le rotor à huit bras. Les électrodes fixes sont réparties par groupe de six sur le stator et sont alimentées par une séquence de signaux électriques périodiques dans le temps permettant le mouvement du rotor. Un cheveu, d'un diamètre de 120 micromètres, est superposé à ce micro-moteur pour donner l'échelle.