Circuits intégrés : séquence photolithographique à résine positive

Circuits intégrés : séquence photolithographique à résine positive

Crédits : Encyclopædia Universalis France

Diffusion de la résine sur toute la galette(a) ; sensibilisation aux UV à travers un masque posé sur la résine photosensible : les parties protégées de la lumière sont durcies, les autres (résine ayant subit le rayonnement UV) sont fragilisées (b) ; élimination des parties non durcies par attaque chimique (c) ; gravure de la couche de silice, reproduisant le masque, puis élimination de la couche de silice non protégée par la résine et enfin élimination de la résine restante (d).