PHOTOLITHOGRAPHIE

CIRCUITS INTÉGRÉS

  • Écrit par 
  • Frédéric PÉTROT, 
  • Franck WAJSBÜRT
  •  • 8 965 mots
  •  • 20 médias

Dans le chapitre « La photolithographie »  : […] Le procédé photolithographique est utilisé à chaque étape pour créer chacune des couches du circuit. Il consiste à reproduire un dessin (masque) sur le substrat, en projetant l'ombre de celui-ci (éclairé par des ultraviolets à très faible longueur d'onde) sur le substrat préalablement recouvert d'une résine photosensible. La résine peut être positive ou négative. Elle est positive si les parties […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/circuits-integres/#i_38171

MICROÉLECTRONIQUE

  • Écrit par 
  • Claude WEISBUCH
  •  • 13 674 mots
  •  • 23 médias

Dans le chapitre « La fabrication des circuits intégrés »  : […] Ces quatre facteurs, qui ont permis l'essor de la microélectronique, se sont développés grâce à l'utilisation de méthodes de production hautement parallélisées (s'apparentant beaucoup à l'imprimerie) et dont la reproductibilité fait l'objet d'efforts incessants. L'idée est de fabriquer en une seule opération technologique tous les éléments de même nature sur la puce, en fait sur toute une plaquet […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/microelectronique/#i_38171


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Circuits intégrés : séquence photolithographique à résine positive

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Diffusion de la résine sur toute la galette(a) ; sensibilisation aux UV à travers un masque posé sur la résine photosensible : les parties protégées de la lumière sont durcies, les autres (résine ayant subit le rayonnement UV) sont fragilisées (b) ; élimination des parties non durcies par... 

Crédits : Encyclopædia Universalis France

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Circuits intégrés : séquence photolithographique à résine positive
Crédits : Encyclopædia Universalis France

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