MICROSYSTÈMES, technologie

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Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS

Microélectronique : fabrication d'un inverseur CMOS
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Microsystèmes : procédé d'usinage anisotrope du silicium

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Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

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Microsystèmes : structure tridimensionnelle micro-usinée

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Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »

Microsystèmes : principe de la couche « sacrifiée »
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Bibliographie

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  • : professeur, directeur scientifique des sciences et technologies de l'information et de la communication au ministère de la Recherche

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Pour citer l’article

Daniel HAUDEN, « MICROSYSTÈMES, technologie », Encyclopædia Universalis [en ligne], consulté le 06 octobre 2018. URL : http://www.universalis.fr/encyclopedie/microsystemes-technologie/