MICROMOTEURS

MICROSYSTÈMES, technologie

  • Écrit par 
  • Daniel HAUDEN
  •  • 3 753 mots
  •  • 11 médias

Dans le chapitre « Augmentation du couple mécanique et de la puissance dans les micromécanismes »  : […] le circuit intégré (above integrated circuit, technologie « au-dessus du circuit intégré »). Ainsi, par exemple, des couches minces piézo-électriques sont déposées sur le silicium afin de réaliser un micromoteur piézo-électrique à ultrasons, le rotor étant entraîné par frottement sur le stator déformé continûment par une onde […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/microsystemes-technologie/#i_36715


Affichage 

Microsystèmes : micro-moteur à frottement

photographie

Dans ce micro-moteur entièrement élaboré en silicium, le rotor (de 0,5 micromètre d'épaisseur et de 500 micromètres de diamètre) est entraîné par le frottement des 18 micro-doigts « grattant » le stator et permettant la rotation autour de l'axe central Le dispositif de commande... 

Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

Afficher

Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium

photographie

Premier micro-moteur rotatif à excitation électrostatique latérale entièrement en silicium, élaboré en 1989 à l'université de Berkeley Un champ électrique de l'ordre de 100 volts fait tourner le rotor à huit bras Les électrodes fixes sont réparties par groupe de six sur le stator et... 

Crédits : D.R./ BSAC, Berkeley, Californie, USA

Afficher

Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif métallique

photographie

Micro-moteur « couronne » à commande électrostatique réalisé en technique LIGA qui utilise des résines épaisses et plusieurs étapes de dépôts électrolytiques de nickel Le stator (cercle intérieur), fixe, est équipé de six électrodes (triangles au sein du cercle) qui, alimentées... 

Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

Afficher

Microsystèmes : micro-moteur à frottement
Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

photographie

Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif en silicium
Crédits : D.R./ BSAC, Berkeley, Californie, USA

photographie

Microsystèmes : micro-moteur électrostatique rotatif métallique
Crédits : D.R./ FEMTO-ST, Besançon

photographie