MICRO-ACTIONNEURS

1 article

MICROSYSTÈMES, technologie

Écrit par
Daniel HAUDEN
• 3 750 mots
• 11 médias

Dans le chapitre « Réalisation de micromécanismes avec des pièces en mouvement » : […] Pour élaborer des micromécanismes avec des pièces en mouvement, il est nécessaire d'utiliser les usinages de volume et de surface. En 1978, le physicien américain K. E. Beam a publié le procédé d'usinage chimique anisotrope du silicium qui permet d'obtenir des structures tridimensionnelles en dissolvant chimiquement et localement une tranche de si […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/microsystemes-technologie/#i_36719

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