MICRO-ACTIONNEURS

MICROSYSTÈMES, technologie

  • Écrit par 
  • Daniel HAUDEN
  •  • 3 750 mots
  •  • 11 médias

Dans le chapitre « Réalisation de micromécanismes avec des pièces en mouvement »  : […] Pour élaborer des micromécanismes avec des pièces en mouvement, il est nécessaire d'utiliser les usinages de volume et de surface. En 1978, le physicien américain K. E. Beam a publié le procédé d'usinage chimique anisotrope du silicium qui permet d'obtenir des structures tridimensionnelles en dissolvant chimiquement et localement une tranche de si […] Lire la suite☛ http://www.universalis.fr/encyclopedie/microsystemes-technologie/#i_36719