6. Moyens de pompage
Les moyens de pompage utilisés en technique du vide illustrent parfaitement l'adage selon lequel la mesure perturbe toujours l'objet mesuré. En effet, pomper un gaz ou mesurer sa pression, c'est agir sur celle-ci. On peut donc employer le même principe, servi par la technologie qui assurera à la perturbation l'ampleur recherchée. On voit, par exemple, qu'il existe une analogie profonde entre un manomètre volumétrique et une pompe volumétrique, l'obtention d'une mesure absolue de la pression par l'un trouvant son équivalence dans la non-sélectivité aux gaz du débit-volume de l'autre. Et, dans le domaine de l'ultravide, alors que les quantités de matières assignables sont de plus en plus petites, c'est le même dispositif qui sert à la fois de pompe et de manomètre (pompe de Penning). Il en résulte que les conditions d'exploitation de ces matériels présentent des analogies.
Les pompes volumétriques sont faites d'un volume périodiquement variable. Les forts débits réclament l'emploi d'un piston, tandis que les petits se satisfont d'une membrane. La figure illustre le principe d'un modèle très répandu : la pompe à palettes mobiles. Le corps de la pompe est immergé dans un bain d'huile qui assure le refroidissement, la lubrification et l'étanchéité. On peut installer deux corps coaxiaux en série, ce qui multiplie les taux de compression. La pompe est alors dite à double étage. Lorsque la pompe atteint sa pression limite, soit quelque 10−3 hPa, une rétrodiffusion de vapeur d'huile se propage vers l'amont ; il est difficile de s'en protéger. Les besoins de l'industrie électronique en matière de propreté et de pompage des gaz réactifs ont induit la mise au point de pompes sèches dont le principe est illustré sur la figure. La fabrication est coûteuse, mais la pompe est « propre ». Les pompes volumétriques sont capables de refouler les gaz à la pression atmosphérique. Elles sont, pour cette raison, baptisées pompes primaires. Si le domaine du vide poussé doit […]
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