5. Mesure des basses pressions
À l'échelle microscopique, les chocs répétés des molécules sur les parois engendrent des forces. La pression est la somme des forces agissantes sur l'unité de surface. La présence de la température T dans la relation pV = NkT montre que la pression est une grandeur statistique. Un manomètre la transforme en grandeur macroscopique p = F/S.
La pression est toujours exprimée en valeur absolue, la pression nulle correspondant au vide parfait. On rencontre cependant, dans le domaine du vide grossier, des appareils qui mesurent la dépression. Le zéro de la pression lu sur l'appareil correspond à la pression atmosphérique, et le vide parfait à − 1 013 hPa. Dans une installation en fonctionnement, la pression varie comme la loi d'écoulement du gaz. L'emplacement d'un manomètre sera donc représentatif d'un état local. Si la mesure in situ n'est pas possible (par exemple pour des raisons de température ou d'encombrement), on ne peut que procéder à des corrélations, d'autant moins crédibles que la pression est basse. De plus en plus, la tendance est d'adjoindre à la mesure de la pression totale une mesure des pressions partielles. Faite à l'aide d'un spectromètre de masse, on peut, après calibration, être renseigné sur les proportions respectives des substances en présence. Le développement de normes de qualité impérieuses dans presque tous les domaines industriels utilisant le vide provoque une rapide croissance de cette méthode d'analyse. Comme pour tout appareil de mesure, un manomètre doit posséder certaines qualités métrologiques de base. Il faut y associer le respect des conditions d'emploi.
Il a existé un nombre considérable de modèles de manomètres, induit par la gamme dynamique extrême de la technique du vide. L'usage a retenu les plus sûrs. Ils sont répartis en trois groupes qui utilisent chacun l'un de ces principes : la volumétrie, les propriétés de transport dans les gaz, l'obtention et la détection des courants d'ions. Les manomètres volu […]
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