STATOR

Ce sujet est traité dans les articles suivants :

1.  MICROSYSTÈMES, technologie

Écrit par : Daniel HAUDEN

Dans le chapitre "Réalisation de micromécanismes avec des pièces en mouvement"  : … micromoteur « tout silicium » d'un diamètre de 150 μm fabriqué en 1989 à l'université de Berkeley. *Les électrodes extérieures fixes du stator et les électrodes en étoile mobiles du rotor sont fabriquées au cours d'une même étape du procédé technologique, puis le rotor est « libéré » par dissolution locale d'une couche de silice tendre. La commande… Lire la suite