Les microscopes électroniques modernes ont un pouvoir de résolution (distance minimale séparant deux points vus comme distincts dans l'appareil) de l'ordre de quelques dixièmes de nanomètres. Cependant, l'information ainsi recueillie, information de nature morphologique, n'est souvent utilisable que si elle est accompagnée d'une connaissance de la composition chimique précise de l'échantillon. Ainsi, en biologie, les changements de morphologie d'un tissu sont-ils souvent corrélés à des modifications locales de la distribution des divers éléments chimiques à travers ce tissu ; on conçoit l'intérêt qu'il peut alors y avoir à combiner analyse chimique locale non destructive et visualisation microscopique. De même, en métallurgie et minéralogie, est-il nécessaire de compléter l'observation des précipités vus dans le champ du microscope électronique par l'analyse in situ de leur composition chimique.
L'analyse par microsonde électronique satisfait ce type d'exigences. Malgré des différences minimes, dues à leur spécialisation propre, les divers systèmes fonctionnent tous sur le principe du premier d'entre eux : la microsonde de Castaing et Guinier (1949). L'échantillon à examiner est placé sur la platine d'un microscope électronique où il est bombardé par des électrons de haute énergie, ceux-là mêmes qui constituent le « faisceau ». (On sait qu'un microscope électronique fonctionne sur le même principe qu'un microscope optique ordinaire : le faisceau lumineux y est simplement remplacé par un faisceau d'électrons, lequel subit, à l'intérieur de l'appareil, le même type de réfractions et convergences qu'un faisceau de lumière à travers l'optique d'un microscope ordinaire.) Ces électrons, parce qu'ils ont une énergie élevée, traversent l'échantillon en y produisant un certain nombre de modifications ; l'une des plus importantes consiste en une émission de rayons X : un électron du faisceau incident est susceptible, lorsqu'il heurte l'un des atomes de l'échantillon, d'en extraire un […]
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