MICROMOTEURS

Ce sujet est traité dans les articles suivants :

1.  MICROSYSTÈMES, technologie

Écrit par : Daniel HAUDEN

Dans le chapitre "Réalisation de micromécanismes avec des pièces en mouvement"  : … des microsystèmes tant dans le domaine des capteurs que dans celui des microactionneurs. *L'exemple historique est celui du micromoteur « tout silicium » d'un diamètre de 150 μm fabriqué en 1989 à l'université de Berkeley. Les électrodes extérieures fixes du stator et les électrodes en étoile mobiles du rotor sont fabriquées au cours d'… Lire la suite